CMP終端用囊式濾芯

PoliCap-Plus終端(POU)slurry過濾囊式濾芯-CMP終端用囊式濾芯

邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進的CMP應用設計的 囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結構上來說，便捷的拋棄式設計 可以實現(xiàn)快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費。 PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用， 滿足不同應用需求

產品描述

邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進的CMP應用設計的 囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結構上來說，便捷的拋棄式設計 可以實現(xiàn)快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費。 PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用， 滿足不同應用需求 。

產品特點

純PP材質，降低成本

拋棄式設計，方便更換并減少slurry暴露

低滯留體積，減少slurry浪費并防止其沉積

提供多種接口選擇

低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率

高納污量，較長的使用壽命

典型應用

產品保證

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
外殼/中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 EPDM
- -
精度 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm
接口形式 進出口 3/8” Flaretek1
Easy-touch
排氣/排液口 -
-
尺寸規(guī)格 外徑 93mm
濾芯直徑 69mm
長度 5inch
最大使用壓力 0.34 MPa (50 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最大使用條件 最大正向壓差 0.24 MPa (35 psi) @ 21 ?C (70 ?F)
0.40 MPa (58 psi) @ 82 ?C (176 ?F)
最大反向壓差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176?F)

產品尺寸

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流量-壓差曲線圖

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