PoliCap終端(POU)緊湊型 CMP囊式濾芯

邁博瑞PoliCap系列囊式濾芯是專為空間受限的先進(jìn)CMP應(yīng)用而設(shè)計(jì)。純PP材質(zhì)、結(jié)構(gòu)緊湊和拋棄式的特點(diǎn)使其具備低成本、方便更換的優(yōu)點(diǎn)。從性能角度來說，囊式濾芯內(nèi)部所含的熔噴或深層折疊濾材可以高效去除CMP slurry中造成劃傷的顆粒或膠體，同時(shí)保留有效研磨顆粒，保持粒徑分布（PSD）不變。濾材獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)確保相對(duì)低的壓損、優(yōu)秀的顆粒去除效率和較長的使用壽命。

產(chǎn)品描述

邁博瑞PoliCap系列囊式濾芯是專為空間受限的先進(jìn)CMP應(yīng)用而設(shè)計(jì)。純PP材質(zhì)、結(jié)構(gòu)緊湊和拋棄式的特點(diǎn)使其具備低成本、方便更換的優(yōu)點(diǎn)。從性能角度來說，囊式濾芯內(nèi)部所含的熔噴或深層折疊濾材可以高效去除CMP slurry中造成劃傷的顆粒或膠體，同時(shí)保留有效研磨顆粒，保持粒徑分布（PSD）不變。濾材獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)確保相對(duì)低的壓損、優(yōu)秀的顆粒去除效率和較長的使用壽命。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 純PP材質(zhì)，降低成本
  • 熱熔焊接，無密封圈
  • 拋棄式設(shè)計(jì)，方便更換并減少slurry暴露
  • 可選長度和直徑，滿足不同安裝需求
  • 可用深層或膜折疊濾材，滿足多種應(yīng)用需求
  • 低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率

工作特性

材 料

過濾層/支撐層

聚丙烯

外殼/中心桿/端蓋

聚丙烯

精度

深層形式：0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm

接口形式

進(jìn)出口

3/8" Flaretek1， 1/4" Flaretek1， 1/4" NPT

排氣/排液口

1/4" Flaretek1， 1/8" NPT

尺寸規(guī)格

外徑

70mm

濾芯直徑

56mm

長度

2.5inch，5inch

最大使用條件

最大使用壓力

0.5 MPa (73 psi) @ 25 ?C (77 ?F)

最大正向壓差

0.5 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)

0.19 MPa (27 psi) @ 82?C (179 ?F)

最高使用溫度

80 ?C (176?F)

1 Flaretek是Entegris公司的商標(biāo)。

產(chǎn)品尺寸

PP囊式過濾器

流量-壓差曲線

PoliCap終端(POU)緊湊型流量-壓差曲線圖

訂購信息

PCN

濾芯類型

精度

直徑

接頭

長度

潔凈度

包裝

P (折疊濾芯)

D (深層濾芯)

001 (0.1μm)

002 (0.2μm)

003 (0.3μm)

005 (0.5μm)

007 (0.7μm)

010 (1.0μm)

L(直徑=56mm)

S(直徑=69mm)

F32 (I/O: 3/8”Flaretek ; V/D: 1/4” Flaretek)

F2N1 (I/O: 1/4”Flaretek ; V/D: 1/8” NPT)

N21 (I/O: 1/4” NPT; V/D: 1/8” NPT)

25 (2.5”)

05 (5”)

E (電子級(jí))

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤濕包裝)
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