Wet-Fluoride系列全氟濾芯-半導(dǎo)體Wet濕制程用全氟濾芯

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過濾打造。 優(yōu)良的濾芯設(shè)計，確保在使用時壓降低的同時兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對工藝造成污染的成分，同時在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。

產(chǎn)品描述

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過濾打造。

優(yōu)良的濾芯設(shè)計，確保在使用時壓降低的同時兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對工藝造成污染的成分，同時在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。

產(chǎn)品特點

  • 優(yōu)秀的流量和更長使用壽命

  • 優(yōu)秀的化學(xué)和溫度耐受性能

  • 全氟結(jié)構(gòu)和極低的溶出性能

  • 便捷的預(yù)濕選項

  • 100%濾芯完整性檢測

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材料

濾膜

PTFE

支撐層，外殼

PFA

筒式密封圈

TEV/FFKM

一體式外殼

PFA
精度

10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
膜面積

SX (φ68mm)

1.2 m2/10”

MX (φ81mm)

1.8 m2/10”

MY (φ81mm)

2.2 m2/10”

MZ (φ81mm)

2.8 m2/10”
最大使用條件

最大正向壓差

0.5 MPa (72 psi) @ 25 ℃ (77 °F)

0.2 MPa (29 psi) @ 100 ℃ (212 °F)

最大反向壓差

0.35 MPa (50 psi) @ 25 ℃ (77 °F)

最高使用溫度

筒式 100 ℃ (212 °F) 

一體式 180 ℃ (356 °F)
包裝方式 干包裝；超純水預(yù)潤濕包裝

產(chǎn)品尺寸

全氟濾芯

流量-壓差曲線

全氟濾芯全氟濾芯

訂購信息

WFC

精度

直徑

端蓋

長度

密封圈

金屬潔凈度

包裝方式
 

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

J（0.2μm）

SX（φ68mm,0.9m2）

MX（φ81mm,1.8m2）

MY（φ81mm,2.2m2）

MZ（φ81mm,2.8m2）

N（222 平頭）

K（222 Plat with Lock-key）

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

T (TEV)

K（FFKM）

U（＜3ug/device）

Q（＜10ug/device）

R（＜25ug/device）

E（Electronic）

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤濕包裝)

下載資料

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