CMP專用濾芯

CMPro-P系列 CMP專用聚丙烯（PP）深層折疊濾芯

邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學(xué)機(jī)械研磨（chemicalmechanical polishing，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團(tuán)聚顆粒和膠體雜質(zhì)。此外，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設(shè)計大幅度提高了過濾面積和納污容量，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。

產(chǎn)品描述

邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學(xué)機(jī)械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團(tuán)聚顆粒和膠體雜質(zhì)。此外，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設(shè)計大幅度提高了過濾面積和納污容量，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。

產(chǎn)品特點

  • 寬幅深層折疊使其具備超低的壓損和更長的使用壽命

  • 較大的過濾面積，結(jié)合漸變的錐形孔結(jié)構(gòu)，使剪切力最小化

  • 漸變孔徑實現(xiàn)分級過濾，攔截大顆粒并放行有效研磨顆粒

  • 在潔凈車間生產(chǎn)、測試和包裝，確保產(chǎn)品潔凈度

  • 采用熱熔焊接技術(shù)，確保無污染

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
外殼/中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 EPDM
精 度 0.8μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm, 15.0μm
尺寸規(guī)格 外徑 69mm
長度 10inch, 20inch
最大使用條件 最大正向壓差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F)
最大反向壓差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176 ?F)

產(chǎn)品尺寸

CMPro-P系列 CMP專用聚丙烯（PP）深層折疊濾芯

標(biāo)稱尺寸 A B C
10” 263.0±2mm 249.0±2mm 239.5±2mm
20” 511.0±2mm 497.0±2mm 487.5±2mm

流量-壓差曲線圖

CMPro-P系列 CMP專用聚丙烯（PP）深層折疊濾芯-流量壓差曲線

訂購信息

CMPP 精度 端蓋 直徑 長度 密封圈 潔凈度 包裝方式

008 (0.8μm)

010 (1.0μm)

015 (1.5μm)

030 (3.0μm)

050 (5.0μm)

100 (10μm)

150 (15μm)

N（222 平頭）

F（雙開口密封墊）

 S（直徑=69mm）

10 (10”)

20 (20”)

 P (EPDM) E（Electronic）

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤濕包裝)

下載資料

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